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物联网RFID系统提升半导体制造行业生产效率

发布时间:2023-10-19 点击数:468

由于芯片短缺问题和近2年海运拥堵和成本上升等因素,致使全球资本对于芯片制造工厂的投入增大,而中兴、华为的例子已经凸显出国产半导体供应链的重要性,除去地缘政治上的意义,发展半导体其实是中国经济的转型的必走之路。

 

半导体生产是一种高度复杂的工艺,涉及数百个工序。由于尺寸特殊且非常精密,几乎无法手动生产集成电路。此外,生产对纯度、洁净度和功能性提出了严格要求。因此,半导体工厂需要高度自动化、智能互联、模块化且灵活的生产理念,物联网RFID技术推动半导体行业的自动化发展,提高芯片企业产能!

 

方案一:RFID在半导体行业天车设备的应用

 

由于12寸晶圆盒非人力能所搬动,需要用到天车设备进行搬运,将分体式低频读写器JY-V640安装在天车设备,识别FOUP的TI标签部署在行车节点,当天车设备经过是,读写器自动感应TI标签,上传至后台管理系统,系统根据指令快速调度天车设备的下一步工序路径,实现井然有序的工作。

 

 

 

 方案二:RFID半导体晶圆产线的应用

 

将RFID读写器部署在机械手臂,晶圆盒部署RFID载码体,当机械手臂开始工作时,读写器自动采集载码体信息,及时了解是什么产品、如何加工、何时加工,并跟踪晶圆在加工流程中的具体位置,可显著减少晶圆的供应时间,并充分减少该工序的工作量,仓储管理系统将RFID的信息与生产控制系统 (MES) 的信息关联在一起,可实时监测所有晶圆。

 

 

 

 方案三:RFID在半导体晶元储存柜的应用

 

将RFID读取器部署在储存柜承载平台支撑板下方,将RFID载码体安装至晶圆盒,当晶圆进入储存柜时,RFID读取器识别RFID载码体来监测拾放物料期间晶圆的储存位置。因此,必要时可立即找到所有储存的晶圆。

 

 

 

 方案四:RFID在半导体车间AGV搬运机器人的应用

 

在半导体车间实现无人化运输管理,采用AGV小车进行物料运输,将RFID读写器安装在AGV小车底部,在运输轨道节点部署RFID载码体,当AGV小车经过轨道节点时,读写器自动采集载码体信息,实时掌握物料的运输情况及其往哪个生产工序运输。

 

 

 

实施效益

1,避免人为原因导致放置的高度以及数量有限,更加精准利用空间;

 

2,避免人工带来出错、耗时等问题;

 

3,可以跟踪所有的物料流;

 

4,及时掌握晶圆芯片的存取情况;

 

5,减少污染,保持晶圆洁净;

 

6,提升半导体行业自动化管理水平。

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